LVIII. Требования охраны труда в процессе упрочнения
металла методом конденсации вещества
с ионной бомбардировкой
499. Для удаления слоев испаряемых материалов со стенок рабочей камеры и с элементов внутрикамерных устройств установки диффузионной металлизации в тлеющем разряде необходимо производить профилактическую очистку рабочей камеры. Очистка должна производиться с соблюдением требований безопасности для термообработки в вакууме.
500. Съемные элементы внутрикамерных устройств установки при необходимости должны подвергаться химическому травлению с целью удаления следов осажденных пленок. После травления съемные элементы должны быть промыты проточной горячей и холодной водой и высушены в термостатах.
501. Испарители и навески испаряемого материала перед использованием их в вакуумной установке диффузионной металлизации в тлеющем разряде должны подвергаться очистке.
В процессе очистки испарители и навески сначала обезжиривают, затем травят в водных растворах кислот и щелочей, а перед использованием их в технологическом процессе осуществляют отжиг в вакууме.
502. Очищенные испарители хранят в спирте, а перед использованием высушивают на воздухе до полного высыхания спирта.
Навески испаряемого материала хранят в спирте или в эксикаторе с отожженным силикагелем.
